 |
Современное производство пьезоэлектрических пластин для MEMS и SAW устройств
Подробная информация о продукте:
| Место происхождения: | Китай |
| Фирменное наименование: | CQTGROUP |
| Сертификация: | ISO:9001, ISO:14001 |
| Номер модели: | Услуги в области литейной промышленности |
Оплата и доставка Условия:
| Количество мин заказа: | 1 шт. |
|---|---|
| Цена: | Подлежит обсуждению |
| Упаковывая детали: | Пакет опарника кассеты, вакуум загерметизировал |
| Время доставки: | 1 - 4 недели |
| Условия оплаты: | T/T |
| Поставка способности: | 10000 шт/месяц |
|
Подробная информация |
|||
| Продукт: | Услуги в области литейной промышленности | Материалы: | LiNbO3, LiTaO3, Кристальный кварц, Стекло, Сапфир и т.д. |
|---|---|---|---|
| Служба: | Литография, гравировка, покрытие, облицовка | Литографирование: | Литография близости EBL oСтепперская литография |
| Поддерживающее оборудование: | Машины для шлифования/растворения/полировки/ и т.д. | Связывание:: | Анодический, эвтектический, клейкий, проволочный соединение |
| Выделить: | Усовершенствованные возможности обработки пьезоэлектрические пластинки,Пьезоэлектрическая пластина MEMS,Устройства SAW Пьезоэлектрическая пластина |
||
Характер продукции
Современное изготовление пьезоэлектрических пластин для MEMS и SAW устройств
Мы специализируемся на предоставлении комплексных услуг литейного производства чипов, обслуживая клиентов, которые требуют высококачественной обработки и изготовления пластинок.,Мы предоставляем решения, соответствующие вашим потребностям.Ниобат лития (LiNbO)₃),Танталат лития (LiTaO)₃),Однокристаллический кварц,Сплавленное кремниевое стекло,Боросиликатное стекло (BF33),Стекло из соды,Кремниевые пластинки, иСапфиры, обеспечивая универсальность для различных применений.
Портфель передовых вафровых материалов
Наш опыт охватывает стандартные и экзотические субстраты:
- Ниобат лития (LiNbO3, 4"-6" пластинки)
- Танталат лития (LiTaO3, Z-cut/Y-cut)
- Однокристаллический кварц (AT-резка/SC-резка)
- Сплавленный кремний (эквивалент Corning 7980)
- Боросиликатное стекло (BF33/Schott Borofloat®)
- Кремний (ориентация 100/111, максимум 200 мм)
- Сапфир (C-плоскость/R-плоскость, 2" ′′ 8")
Основные технологии производства
-
Литография.
- Электронная лучевая литография (EBL, разрешение 10 нм)
- Степперная литография (i-line, 365nm)
- Алайнер маски близости (точность выравнивания 5 мкм)
-
Выгравировать.
- ICP-RIE (SiO2/Si скорость нарезки 500nm/min)
- DRIE (соотношение сторон 30:1, процесса Босха)
- Ионная гравировка луча (угловая однородность <±2°)
-
Осаждение на тонком пленке.
- ALD (Al2O3/HfO2, однородность < 1 нм)
- PECVD (SiNx/SiO2, контролируемый напряжением)
- Магнитное распыливание (Au/Pt/Ti, 5nm1μm)
-
Соединение пластин.
- Анодное связывание (стекло-си, 400°C/1kV)
- Евтектическое соединение (Au-Si, 363°C)
- Сцепление с клеем (BCB/SU-8, <5μm warpage)
Инфраструктура поддержки процессов
- Точная шлифовка (TTV < 2μm)
- Полировка CMP (Ra < 0,5 нм)
- Лазерная резка (ширина резки 50 мкм)
- 3D метрология (интерферометрия белого света)
